Metóda umožňuje detailnú analýzu povrchu. Okrem elementárnú analýzy je možné určiť chemickú informáciu materiálu na základe chemických posunov z energií fotoelektrónov. Tie nesú informáciu o oxidačnom čísle atómov v každej zlúčenine. Metóda je povrchovo citlivá a veľkosť a charakter vzoriek je obmedzený rozmerom (do 5x5cm) a vhodnosťou do veľmi vysokého vákua.