je analytická technika využívajúca iónový zväzok určená na detailnú charakterizáciu zloženia vzoriek. Umožňuje detekciu prvkov periodickej tabuľky od vodíka po urán s detekčným limitom až 0,02 at.% do hĺbky približne 500 nm. Vďaka princípu merania doby letu a energie vyrazených atómov dokáže vytvárať presné hĺbkové profily prvkového zloženia, vrátane jednotlivých izotopov daných prvkov. ToF-ERDA sa vyznačuje mimoriadnou presnosťou kvantitatívnej analýzy, ktorá zaručuje spoľahlivé výsledky aj pri stopových koncentráciách.
