6 MV urýchľovací systém poskytuje iónové zväzky širokej palety prvkov (od H po U, s výnimkou inertných plynov ťažších ako He). Slúži na analýzu pomocou iónového zväzku (IBA) a na iónovú implantáciu. Umožňuje vysoko citlivú analýzu prvkového zloženia (v závislosti od vzorky až po úroveň ppm), simuláciu radiačného poškodenia (jadrové materiály, elektronika pre kozmické aplikácie), iónmi indukované fázové premeny a vysokoenergetickú iónovú implantáciu (dopovanie aj defect engineering). Urýchľovač je tiež schopný vytvárať rádioizotopy, napríklad pre potreby merania nanoopotrebenia alebo rádioznačkovače (tracers).
Komora pre iónovú implantáciu a ožarovanie – veľkosť substrátu a podmienky: Substrát s maximálnym priemerom do D = 100 mm môže byť ohrievaný do 500 °C alebo chladený tekutým dusíkom na −196 °C. Substrát s maximálnym priemerom do D = 40 mm môže byť umiestnený na vodou chladený držiak alebo na ohrievač s teplotou do 1000 °C. V tejto komore je možné realizovať experimenty in situ aj in operando (napr. na elektronických súčiastkach) a rovnako je možné zabezpečiť bezprašné prostredie triedy ISO 5.
Analýza pomocou iónového zväzku – dostupné techniky:
- Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)
- Particle Induced X-ray Emission (PIXE)
- Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA)
- Nuclear Reaction Analysis (NRA)
Požiadavky na vzorky: Ideálne sú platničky s rozmermi 10 × 10 cm², je však možné analyzovať aj iné rozmery a hrúbky – maximálny rozmer závisí od použitej techniky (pre ERDA je max. rozmer D = 100 mm). Materiál musí byť dostatočne kompaktný a nesmie sa rozkladať vo vákuu. Úprava a príprava vzorky na meranie je potrebné dohodnúť vopred.
